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TFX3000 OCD--300mm全自動光學關鍵尺寸和形貌測量系統
TFX3000 OCD是睿勵科學儀器(上海)有限公司自主創新開發,具有自主知識產權的集成電路生產線300mm硅片全自動光學關鍵尺寸(OCD)和形貌測量系統。其在TFX3000系統基礎上集成光學關鍵尺寸測量模塊,除具有300mm全自動光學膜厚測量能力外,還可以進行顯影后檢查(ADI)、刻蝕后檢查(AE...