睿勵科學儀器獲1.6億元融資

睿勵科學儀器獲1.6億元融資


近日,公司完成了一輪增資,直接融入現金超過1.6億元,該輪增資由部分原有股東全部認購。本輪所融資金將主要用于光學膜厚量測設備和缺陷檢測設備的產品迭代研發及新產品研發和生產投入。

2019年以來,睿勵重回快速發展軌道。公司膜厚測量、缺陷檢測及光學關鍵尺寸測量等設備已為國內近20家前道半導體晶圓制造客戶所采用,在不同的生產工藝產線上通過了大規模量產驗證(累計數以億計的晶圓跑片數),無論是設備穩定性還是快速響應解決問題的能力都得到了客戶認可,在幫助產線提高生產效率,提升良率,降低設備擁有成本等方面成果顯著。近兩年推出的12吋膜厚量測設備TFX4000系列和應用于明暗場的12吋高精度光學缺陷檢測設備WSD系列在相繼交付國內重要客戶后,快速通過驗證并接連獲得客戶好評,已取得多臺重復銷售訂單。

在完成本輪融資后,睿勵將繼續深耕集成電路芯片生產工藝檢測設備市場,進一步豐富光學量測和光學缺陷檢測產品系列,在加速光學膜厚量測設備、OCD量測設備、光學缺陷檢測設備等產品迭代更新的同時,將逐步開啟其他光學類檢測設備的開發和應用拓展,力爭盡早達到國際廠商同類設備應用能力全覆蓋,為早日實現集成電路前道工藝檢測設備國產化全面替代的目標而努力奮斗。