同心協“勵”,突破創“芯”

睿勵12吋高精度光學缺陷檢測設備出貨


2022年68日,睿勵自主研發制造的明暗場高精度光學缺陷檢測設備WSD300交付國內重要客戶,在晶圓制造關鍵工藝站點的在線缺陷檢測領域,又邁出了國產替代關鍵性的一步。

12吋光學缺陷檢測設備出貨


貨到客戶現場


3月中旬,疫情風暴席卷上海,同絕大多數公司和市民一樣,上海睿勵也嚴格遵守防疫政策,經歷了2個多月的封印。在此期間公司上下都心系客戶,齊心協力最大程度的克服了供應鏈中斷,工廠停工等諸多困難,公司在復工后加班加點趕工期,第一時間完成了此臺WSD300的交付。本月還有多臺設備在積極交付籌備中,敬請期待!


睿勵自主研發制造的WSD系列產品,是面向集成電路芯片前道工藝以及泛半導體前道工藝(SiC、OLED、MicroLED等)的高精度光學晶圓外觀缺陷檢測設備,從20214月首臺發布以來,已累計獲得近10臺訂單。目前的WSD機型,最高檢測精度可達到100nm,兼容4~12 wafer ,支持明場和暗場檢測。


WSD300(12吋)設備實物圖