TFX4000i/TFX4000i UT+

新一代的薄膜厚度測量設備,應用范圍覆蓋集成電路制造前后段,適用于40/28/14/7/5nm 前后道,10nm級DRAM,3D NAND等制造生產線,為客戶提供更全面的工藝支持。


該系列產品繼承了公司二代產品TFX3000P的全部優越性能,在功能上更加豐富、完善,應用上更加廣泛。

搭載了SWE功能,可實現針對如Gate Oxide等超薄膜更精確快速的測量。